안녕하세요? 레이블 특허법률사무소 박상범 변리사입니다.
오늘은 유진테크와 코쿠사이의 특허침해소송에서 코쿠사이가 쟁점으로 삼은 특허권에 대해 분석하고, 왜 코쿠사이는 해당 특허권을 소송의 자료로 선택했을지 검토해보겠습니다.
코쿠사이는 특허등록번호 10-1037961, 특허등록번호 10-1969277, 특허등록번호 10-2149644, 특허등록번호 10-2472052 특허권에 대해 총 4개의 소를 서울지방법원에 제기하였습니다.
1. 먼저, 코쿠사이의 특허권들은 기판 처리 장치를 카테고리로 한 device 청구항과, 반도체 장치의 제조 방법을 카테고리로 한 method 청구항을 모두 포함합니다. 이 중에, 코쿠사이는 기판 처리 장치를 카테고리로 한 device 청구항을 이용하여 유진테크를 공격하였을 것입니다. 유진테크는 반도체 소자를 제조하는 장비를 제조, 판매하는 회사이지 반도체 소자를 제조, 판매하는 회사가 아니기 때문입니다.
2. 이번 포스팅에서는 코쿠사이의 특허등록번호 10-2472052 특허권에 대해 검토해 보겠습니다. 1. 에서 설명한 것과 같이 특허등록번호 10-2472052에서 문제가 된 청구항은 device 청구항인 청구항 18 내지 청구항 20일 것입니다.
대표로, 청구항 18에 대해 분석하겠습니다.
청구항 18에서 핵심특징은 사이클에 대한 것입니다. 이는 아래와 같습니다. 아래 내용은 코쿠사이의 특허 도면 5에 지지되고 있습니다.
i) 제1 가스와 제2 가스를 적어도 일부가 겹치도록 공급하고,
ii) 이후에 반응 가스를 공급하고,
iii) 제1 가스, 제2 가스, 및 반응 가스의 공급을 정지한 상태에서 기판이 존재하는 공간을 배기함
3. 유진테크의 제품이 코쿠사이의 특허권을 침해하고 있는지 판단하기 위해서는 유진테크의 제품의 동작이 이러한 특징(사이클)을 갖고 있는지 여부를 판단하여야 합니다.
그러나, 쟁점이 된 유진테크의 제품이 무엇인지 현재로서는 특정할 수 없기 때문에 유진테크의 특허를 찾아보았습니다.
유진테크의 배치형, ALD, CVD 설비에 관한 특허를 검색하였습니다. 2016년 이후로 총 9개의 등록특허가 검색되는데
이중 특허등록번호 10-235998를 참조하면, 코쿠사이의 특허권과 유사한 점을 발견할 수 있었습니다.
4. 유진테크의 특허등록번호 10-235998는
배치형 설비로서,
웨이퍼 상에 TiN 박막을 증착하기 위한 설비이며,
소스가스와 전처리가스는 일부 겹치도록 공급되고, 반응가스는 소스가스와 전처리가스를 공급한 후에 공급하는 특징을 갖고 있습니다.
소스가스는 TiCl4, 전처리가스는 SiH4, 반응가스는 NH3를 사용하고 있습니다.
5. 이러한 점을 비추어볼 때, 유진테크의 특허권의 내용과 코쿠사이의 특허권의 내용은 유사한 측면이 있다고 판단됩니다.
그러나, 유진테크의 특허권과 코쿠사이의 특허권이 유사하다는 점만으로는 유진테크가 코쿠사이의 특허권을 침해하였다고 단정짓기는 어렵습니다. 어느 정도 연관성은 있을 수 있겠지만요.
6. 정리하면, 코쿠사이는 유진테크의 특허와 유사한 자사 특허를 공격자료로 삼은 것으로 판단됩니다. 유진테크는 코쿠사이의 특허권에 대해 무효심판을 청구하고, 권리범위확인심판을 청구하는 방법으로 대응할 것으로 생각됩니다.
다음 포스팅에서는 코쿠사이의 특허등록번호 10-2149644에 대해 검토해보겠습니다.
앞으로 유진테크와 코쿠사이와의 소송이 어떻게 진행될 지 계속모니터링하고 업데이트 하겠습니다.
특허심판/소송에 관해 상담받고 싶으시면 문의해주세요
박상범 변리사
T: 02-6224-9804
E: psb@rableip.com
안녕하세요? 레이블 특허법률사무소 박상범 변리사입니다.
오늘은 유진테크와 코쿠사이의 특허침해소송에서 코쿠사이가 쟁점으로 삼은 특허권에 대해 분석하고, 왜 코쿠사이는 해당 특허권을 소송의 자료로 선택했을지 검토해보겠습니다.
코쿠사이는 특허등록번호 10-1037961, 특허등록번호 10-1969277, 특허등록번호 10-2149644, 특허등록번호 10-2472052 특허권에 대해 총 4개의 소를 서울지방법원에 제기하였습니다.
1. 먼저, 코쿠사이의 특허권들은 기판 처리 장치를 카테고리로 한 device 청구항과, 반도체 장치의 제조 방법을 카테고리로 한 method 청구항을 모두 포함합니다. 이 중에, 코쿠사이는 기판 처리 장치를 카테고리로 한 device 청구항을 이용하여 유진테크를 공격하였을 것입니다. 유진테크는 반도체 소자를 제조하는 장비를 제조, 판매하는 회사이지 반도체 소자를 제조, 판매하는 회사가 아니기 때문입니다.
2. 이번 포스팅에서는 코쿠사이의 특허등록번호 10-2472052 특허권에 대해 검토해 보겠습니다. 1. 에서 설명한 것과 같이 특허등록번호 10-2472052에서 문제가 된 청구항은 device 청구항인 청구항 18 내지 청구항 20일 것입니다.
대표로, 청구항 18에 대해 분석하겠습니다.
청구항 18에서 핵심특징은 사이클에 대한 것입니다. 이는 아래와 같습니다. 아래 내용은 코쿠사이의 특허 도면 5에 지지되고 있습니다.
i) 제1 가스와 제2 가스를 적어도 일부가 겹치도록 공급하고,
ii) 이후에 반응 가스를 공급하고,
iii) 제1 가스, 제2 가스, 및 반응 가스의 공급을 정지한 상태에서 기판이 존재하는 공간을 배기함
3. 유진테크의 제품이 코쿠사이의 특허권을 침해하고 있는지 판단하기 위해서는 유진테크의 제품의 동작이 이러한 특징(사이클)을 갖고 있는지 여부를 판단하여야 합니다.
그러나, 쟁점이 된 유진테크의 제품이 무엇인지 현재로서는 특정할 수 없기 때문에 유진테크의 특허를 찾아보았습니다.
유진테크의 배치형, ALD, CVD 설비에 관한 특허를 검색하였습니다. 2016년 이후로 총 9개의 등록특허가 검색되는데
이중 특허등록번호 10-235998를 참조하면, 코쿠사이의 특허권과 유사한 점을 발견할 수 있었습니다.
4. 유진테크의 특허등록번호 10-235998는
배치형 설비로서,
웨이퍼 상에 TiN 박막을 증착하기 위한 설비이며,
소스가스와 전처리가스는 일부 겹치도록 공급되고, 반응가스는 소스가스와 전처리가스를 공급한 후에 공급하는 특징을 갖고 있습니다.
소스가스는 TiCl4, 전처리가스는 SiH4, 반응가스는 NH3를 사용하고 있습니다.
5. 이러한 점을 비추어볼 때, 유진테크의 특허권의 내용과 코쿠사이의 특허권의 내용은 유사한 측면이 있다고 판단됩니다.
그러나, 유진테크의 특허권과 코쿠사이의 특허권이 유사하다는 점만으로는 유진테크가 코쿠사이의 특허권을 침해하였다고 단정짓기는 어렵습니다. 어느 정도 연관성은 있을 수 있겠지만요.
6. 정리하면, 코쿠사이는 유진테크의 특허와 유사한 자사 특허를 공격자료로 삼은 것으로 판단됩니다. 유진테크는 코쿠사이의 특허권에 대해 무효심판을 청구하고, 권리범위확인심판을 청구하는 방법으로 대응할 것으로 생각됩니다.
다음 포스팅에서는 코쿠사이의 특허등록번호 10-2149644에 대해 검토해보겠습니다.
앞으로 유진테크와 코쿠사이와의 소송이 어떻게 진행될 지 계속모니터링하고 업데이트 하겠습니다.
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