안녕하세요? 레이블 특허법률사무소 박상범 변리사입니다.

오늘은 한국의 반도체 장비 기업 유진테크와 일본의 반도체 장비 기업 코쿠사이일렉트릭의 특허권 침해소송에 대해 알아보고자 합니다.

2024년 2월 5일 일본 반도체 장비 기업 코쿠사이일렉트릭은 유진테크를 상대로 특허권 침해소송을 제기하였습니다. 코쿠사이는 유진테크가 자사의 특허 4건을 침해했다며 서울중앙지방법원에 4건의 소송을 제기하였습니다. 

쟁점이 된 유진테크의 제품은 Harrier-L과 Harrier-M을 포함하는 배치(batch) 타입 증착 설비입니다.

“배치(batch) 타입 설비”란 설비 내에 여러 장의 웨이퍼를 한 번에 투입하여 여러 장의 웨이퍼들 상에 반도체 공정이 수행되는 설비입니다. 배치 타입 설비를 이용할 경우 한 번에 여러 장의 웨이퍼 상에 반도체 공정이 수행되기 때문에 생산성이 향상될 수 있습니다.

유진테크의 Harrier-L batch thermal ALD 설비는 처리량이 높고, 막질의 두께의 균일성이 일정하며, 낮은 로딩 효과가 있다는 장점이 있습니다. 또한, Harrier-L batch thermal ALD 설비는 로직 device, NAND 및 DRAM에서 nitride 막질(SiN)을 증착하는 데 이용될 수 있습니다. 

유진테크의 Harrier-M batch ALD system은 작은 부피와, 좁은 간격 및 넓은 보트로 더 나은 ALD 성능을 제공할 수 있습니다. 또한, Harrier-M batch ALD 설비는 로직 device에서 TiN 막질을 증착하는 데 이용될 수 있고, NAND의 ONO 막질을 증착하는 데 이용될 수 있습니다. 

코쿠사이는 배치(batch) 타입 ALD 설비를 국내기업인 삼성전자 및 SK하이닉스에 독점계약하고 있었습니다. 유진테크는 2010년대부터 배치 타입 설비에 R&D 자금을 투자하여 기술개발에 성공하였고, 2021년 삼성전자 및 SK하이닉스에 배치 타입 ALD 설비를 공급하는 계약을 체결하였습니다. 

코쿠사이는 독점하고 있던 배치 타입의 ALD 설비를 유진테크가 일정 부분 납품하여 이와 관련된 특허침해소송을 제기한 것으로 판단됩니다. 

유진테크가 코쿠사이의 특허권을 침해하였는지 여부는 코쿠사이의 특허권이 무엇인지와 유진테크의 장비를 면밀히 비교해봐야할 것입니다. 또한, 특허권을 침해하지 않았다고 하더라도 유진테크가 코쿠사이에게 특허로열티를 지급하여야할 수도 있습니다. 

소송에 대한 정보가 더 많이 노출된 이후에 더 나은 내용으로 또 찾아뵙겠습니다.

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